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多晶硅生產屬于典型的化工過程，當加熱溫度較低時，一般采用熱水、蒸汽等熱源加熱;當加熱溫度超過180℃以上，一般采用電加熱器直接加熱。
電加熱器分為直接式和間接式，其中直接式電加熱器加熱效率高，設備體積小，投資成本低，故一般采用直接式電加熱器。
直接式電加熱器由外殼和電加熱芯組成，其中電加熱芯主要由電加熱管、散熱區和接線盒等組成。
1電加熱管。
電加熱管是直接式電加熱器的最核心部件，是發熱元件，必須具有較高的熱效率、長期耐高溫、耐腐蝕性以及在長期工作條件下保持良好的絕緣性能和電氣強度的性能，以確保其長期工作穩定、可靠、安全。
每組電加熱芯根據功率的不同，含有一定數量的電加熱管，并含有10%左右的備用管。
電加熱管主要由金屬外管、電阻絲和填料(氧化鎂粉)組成。
電加熱管束之間有折流板，起到支撐和安裝、導流作用，不僅可防振，而且可強化傳熱，有效避免形成加熱死角，并能有效提高電熱元件表面介質流速。
2接線盒。
接線盒是放置電纜接入端的部件，由于介質為氫氣或氯硅烷，故接線盒采用防爆結構，防爆等級為dⅡCT4，防護等級為IP55，材質為碳鋼。
3散熱區。
在直接式電加熱器主法蘭和接線盒之間設置300mm長的散熱區，并加設一定數量的散熱片，使從加熱器輻射和傳導過來的熱量降至最低，這樣能有效地降低接線盒內部的溫度(≤50℃)，避免接線盒內部接線電纜長時間處于高溫而老化。